作为江苏实施创新驱动发展战略的重要抓手，“创业江苏”科技创业大赛已走过13个年头。近日，在“创业江苏”科技创业大赛江苏赛区首场行业赛上，滨湖区企业惠然科技有限公司参赛的电子束技术项目，成功斩获成长企业组第一，顺利晋级总决赛。
扫描电镜作为观测纳米尺度微观世界的“火眼金睛”，长期被国外企业垄断，严重制约我国前沿科技发展。自2021年惠然科技组建团队以来，惠然已快速成长为国家高新技术企业和“专精特新”企业，累计获得授权知识产权超80项，牵头撰写3项扫描电镜国家标准，成为国内电子束技术领域的核心力量。
项目路演代表李岩介绍，惠然科技电子束技术突破了光学观测现有的限制。传统光学显微镜精度停留在微米级，而电子束技术以电子为“光源”，可实现100万倍放大，轻松观测头发丝六万分之一尺度的微观结构，相当于在指甲盖大小的芯片上精准测量3纳米线宽，或在上海东方明珠区域一分钟内定位到一只蚂蚁般大小的物体。这一纳米级精度使其成为半导体先进制程良率控制、前沿材料研发的必备“神器”，应用覆盖芯片关键尺寸量测、晶圆缺陷检测、钢铁材料结构分析等领域。
“我们的优势在于细分应用创新与技术架构革新。”李岩介绍，惠然科技深度贴合国内市场需求，研发出首台新能源领域专用电镜、首台碳化硅领域专用关键尺寸量测设备，填补国内空白；同时首创扫描电镜自动化技术，大幅提升观测效率与精度。目前，其不仅服务于高校科研与工业检测，更成为国内少数能够进入半导体高端领域的量测设备供应商，海外市场份额已达20%，展现出强劲国际竞争力。
惠然科技的脱颖而出，生动展示了滨湖科技企业在“卡脖子”领域的攻坚成果。面向未来，滨湖区将进一步强化企业创新主体地位，完善“科技型中小企业—高新技术企业—独角兽企业—领军企业”战略梯队，持续优化发展生态，助力企业抢占新赛道，激发创新活力和创业动能，推动科技创新与产业创新深度融合，助力滨湖科技创业者为无锡科技重任贡献更多创新力量。
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